PROPERTIES OF AMORPHOUS CO-TA AND CO-W FILMS DEPOSITED BY RF SPUTTERING

被引:34
作者
NAOE, M
KAZAMA, H
HOSHI, Y
YAMANAKA, S
机构
关键词
D O I
10.1063/1.330217
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:7846 / 7848
页数:3
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