MODULATION-DOPED FET THRESHOLD VOLTAGE UNIFORMITY OF A HIGH THROUGHPUT 3 INCH MBE SYSTEM

被引:10
作者
ABROKWAH, JK
CIRILLO, NC
HELIX, MJ
LONGERBONE, M
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1984年 / 2卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.582797
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:252 / 255
页数:4
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