ULTRA-SMALL METAL-PARTICLE ARRAYS PRODUCED BY HIGH-RESOLUTION ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY

被引：22

作者：

CRAIGHEAD, HG

MANKIEWICH, PM

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1982年 / 53卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1063/1.331614

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：7186 / 7188

页数：3

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