A CHEMICAL AND MECHANISTIC VIEW OF REACTION PROFILESIN LASER DIRECT-WRITE METALLIZATION IN METALLOORGANIC FILMS - GOLD

被引：26

作者：

GROSS, ME

APPELBAUM, A

SCHNOES, KJ

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1986年 / 60卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1063/1.337442

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：529 / 533

页数：5

相关论文

共 15 条

[11]

GROSS ME, 1985, BEAM INDUCED CHEM PR, P21

[12]

HOPPER RT, 1963, CERAM IND, V80, P66

[13]

HOPPER RT, 1963, CERAM IND, V80, P65

[14]

HOPPER RT, 1963, CERAM IND, V80, P74

[15]

VONGUTFELD RJ, 1984, LASER APPL, V5, P1