NANOMETER LITHOGRAPHY WITH THE SCANNING TUNNELING MICROSCOPE

被引：86

作者：

RINGGER, M

HIDBER, HR

SCHLOGL, R

OELHAFEN, P

GUNTHERODT, HJ

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1985年 / 46卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1063/1.95900

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：832 / 834

页数：3

相关论文

共 5 条

[1] BINNIG G, 1982, HELV PHYS ACTA, V55, P55
[2] CARTER FL, 1982, MOL ELECTRONIC DEVIC
[3] MICROFABRICATION AS A SCIENTIFIC TOOL
HOWARD, RE
LIAO, PF
SKOCPOL, WJ
JACKEL, LD
CRAIGHEAD, HG
[J]. SCIENCE, 1983, 221 (4606) : 117 - 121
[4] RINGGER M, 1984, 17TH P INT C LOW TEM, pAF4
[5] RINGGER M, 1ST P INT C STRUCT S