HIGH-PRESSURE PLASMA (HPP) DEPOSITION OF POLYCRYSTALLINE SILICON RIBBONS

被引：7

作者：

SARMA, KR

RICE, MJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2127322

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：2647 / 2655

页数：9

共 15 条

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