共 12 条
- [11] SUZUKI M, 1981, 9TH P INT C AM LIQ S
- [12] UEDA S, 1982, 9TH P INT C AM LIQ S
THERMAL-STABILITY OF PURE A-SI FILMS PREPARED BY RF-BIAS SPUTTERING
被引：8
作者：
SUZUKI, M
SUZUKI, M
KANADA, M
KAKIMOTO, Y
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1982年
/
21卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.21.L89
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L89 / L91
页数：3
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