AN ANALYSIS OF THE DERIVATIVE WEIGHT-GAIN SIGNAL FROM MEASURED CRYSTAL SHAPE - IMPLICATIONS FOR DIAMETER CONTROL OF GAAS

被引：12

作者：

JORDAN, AS

CARUSO, R

VONNEIDA, AR

机构：

来源：

BELL SYSTEM TECHNICAL JOURNAL | 1983年 / 62卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/j.1538-7305.1983.tb03107.x

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：477 / 498

页数：22

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