OCCURENCE OF HIGH RESISTANCE LAYER AT VAPOR EPITAXIAL GAAS FILM-SUBSTRATE INTERFACE

被引:43
作者
HASEGAWA, F
SAITO, T
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.7.1125
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1125 / &
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