A STAGGERED-MESH FINITE-DIFFERENCE NUMERICAL-METHOD FOR SOLVING THE TRANSPORT-EQUATIONS IN LOW-PRESSURE RF GLOW-DISCHARGES

被引:58
作者
BARNES, MS
COTLER, TJ
ELTA, ME
机构
关键词
D O I
10.1016/0021-9991(88)90156-8
中图分类号
TP39 [计算机的应用];
学科分类号
081203 ; 0835 ;
摘要
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页数:20
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