THERMAL ANNEALING OF FE IMPLANTED AL2O3 IN AN OXIDIZING AND REDUCING ENVIRONMENT

被引:29
作者
FARLOW, GC
WHITE, CW
MCHARGUE, CJ
SKLAD, PS
APPLETON, BR
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(85)90429-X
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:6
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