SECONDARY ION MASS-SPECTROSCOPY ANALYSIS OF MOISTURE PENETRATION OF DIELECTRIC FILMS

被引：3

作者：

BAROCELA, E

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573742

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1893 / 1896

页数：4

共 4 条

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