CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF COGA AND PTGA2 THIN-FILMS FROM MIXED-METALORGANOMETALLIC COMPOUNDS

被引:43
作者
CHEN, YJ
KAESZ, HD
KIM, YK
MULLER, HJ
WILLIAMS, RS
XUE, ZL
机构
关键词
D O I
10.1063/1.102370
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2760 / 2762
页数:3
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