MG+ AND BE+ ION-IMPLANTATION INTO ALXGA1-XAS

被引:6
作者
YOKOTA, M
ASHIGAKI, S
MAKITA, Y
KANAYAMA, T
TANOUE, H
TAKAYASU, I
机构
[1] HOSEI UNIV,KOGANEI,TOKYO 184,JAPAN
[2] ELECTROTECH LAB,SAKURA,IBARAKI 305,JAPAN
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1983年 / 209卷 / MAY期
关键词
D O I
10.1016/0167-5087(83)90872-4
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
23
引用
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页数:8
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