THE SLOPED-WALL SWAMI - A DEFECT-FREE ZERO BIRDS-BEAK LOCAL OXIDATION PROCESS FOR SCALED VLSI TECHNOLOGY

被引：25

作者：

CHIU, KY ^{[1
]}

MOLL, JL ^{[1
]}

CHAM, KM ^{[1
]}

LIN, J ^{[1
]}

LAGE, C ^{[1
]}

ANGELOS, S ^{[1
]}

TILLMAN, RL ^{[1
]}

机构：

[1] HEWLETT PACKARD CO,CORVALLIS COMPONENTS OPERAT,CORVALLIS,OR 97330

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1983.21329

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1506 / 1511

页数：6

共 7 条

[1]

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