CONTACT RESISTANCE OF POLYSILICON SILICON INTERCONNECTIONS

被引：17

作者：

REEVES, GK ^{[1
]}

HARRISON, HB ^{[1
]}

机构：

[1] RMIT, JOINT MICROELECTR RES CTR, MELBOURNE 3000, AUSTRALIA

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19820741

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1083 / 1085

页数：3

共 5 条

[1] CONTACT RESISTANCE AND CONTACT RESISTIVITY [J].

BERGER, HH .

[2] MODELS FOR CONTACTS TO PLANAR DEVICES [J].

BERGER, HH .

REEVES, GK ;

HARRISON, HB .

ELECTRON DEVICE LETTERS, 1982, 3 (05) :111-113

[4]

REEVES GK, 1982, DIGEST TECHNICAL MAY

SCOTT, DB ;

HUNTER, WR ;

SCHICHIJO, H .