NOVEL REACTOR DESIGN FOR LARGE AREA UNIFORMITY OF ABRUPT HETEROJUNCTION STRUCTURES

被引：22

作者：

LANDGREN, G

ANDERSSON, SG

ANDERSSON, JY

SAMUELSON, L

SILVERBERG, P

TOLKIEN, P

机构：

[1] UNIV LUND,DEPT SOLID STATE PHYS,S-22100 LUND,SWEDEN

[2] ADV FURNACE TECHNOL,CAMBRIDGE CB1 3LF,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(86)90283-6

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

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