DETERMINATION OF SILICON OXIDE THICKNESS

被引：13

作者：

GOLDSMITH, N

MURRAY, LA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(66)90064-5

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：331 / +

页数：1

共 5 条

[1] REFLECTANCE AND PHOTOEMISSION FROM SI [J].

BRUST, D ;

PHILLIPS, JC ;

COHEN, ML .

CORL, EA ;

WIMPFHEIMER, H .

[3]

GERRARD HG, 1965, J OPT SOC AM, V55, P453

LEWIS, AE .

[5] INTERSPECIMEN COMPARISON OF REFRACTIVE INDEX OF FUSED SILICA [J].

MALITSON, IH .