A STUDY OF SHALLOW AND DEEP DAMAGE IN CU AFTER IMPLANTATION OF 100 KEV CU AND AG IONS

被引:3
作者
LINDGREEN, RJT
BOERMA, DO
DEHOSSON, JTM
机构
[1] UNIV GRONINGEN,CTR MAT SCI,9718 CM GRONINGEN,NETHERLANDS
[2] STATE UNIV GRONINGEN,CTR MAT SCI,9747 AG GRONINGEN,NETHERLANDS
[3] STATE UNIV GRONINGEN,DEPT APPL PHYS,9747 AG GRONINGEN,NETHERLANDS
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1983年 / 209卷 / MAY期
关键词
D O I
10.1016/0167-5087(83)90906-7
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
收藏
页码:963 / 967
页数:5
相关论文
共 14 条