SPUTTERING TECHNIQUES APPLIED TO REALIZATION OF ULTRATHIN LAYERED STACKS (OF THE ORDER OF NANOMETERS) - INSITU ELLIPSOMETRY CONTROL-SYSTEM

被引：5

作者：

HOUDY, P ^{[1
]}

ZIEGLER, E ^{[1
]}

NEVOT, L ^{[1
]}

机构：

[1] FAC SCI ORSAY,INST OPT,F-91406 ORSAY,FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(86)90323-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：99 / 109

页数：11

共 10 条

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