RECONSTRUCTION OF TRUE SURFACE-TOPOGRAPHIES IN SCANNING ELECTRON-MICROSCOPES USING BACKSCATTERED ELECTRONS

被引：41

作者：

CARLSEN, IC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/sca.4950070401

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：169 / 177

页数：9

共 17 条

[1]

BRANDT A, 1977, MATH COMPUT, V31, P333, DOI 10.1090/S0025-5718-1977-0431719-X

[2]

Brandt A., 1977, MATH SOFTWARE, P277

[3]

BRANDT A, 1980, SPECIAL TOPICS APPLI

[4]

BRANDT A, 1977, MATH COMPUT, V31, P138

[5]

Brandt A., 1980, NUMERICAL METHODS 2, VI, P23

[6]

FOERSTER H, 1981, ELLIPTIC PROBLEM SOL, P285

LANGE, M ;

REIMER, L ;

TOLLKAMP, C .

JOURNAL OF MICROSCOPY-OXFORD, 1984, 134 (APR) :1-12

[8]

Lebiedzik J., 1975, Scanning Electron Microscopy 1975, P181

[9]

Lebiedzik J., 1979, Scanning, V2, P230, DOI 10.1002/sca.4950020405

[10]

LEBIEDZIK J, 1979, SCANNING ELECTRON MI, V2, P61