STATUS AND FUTURE OF SILICON CRYSTAL-GROWTH

被引：12

作者：

ZULEHNER, W

机构：

来源：

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY | 1989年 / 4卷 / 1-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0921-5107(89)90207-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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共 6 条

[1]

Czochralski J, 1917, Z PHYS CHEM-STOCH VE, V92, P219

[2]

MIHELCIC M, APR NATO WORKSH PARM

[3]

MIHELCIC M, 1989, IN PRESS J CRYST GRO

[4]

TEAL GK, 1952, PHYS REV, V87, P190

[5] CZOCHRALSKI GROWTH OF SILICON [J].

ZULEHNER, W .

[6]

Zulehner W., 1982, CRYSTALS GROWTH PROP, P1