A ROTATION STAGE FOR PRECISE ALIGNMENT AT THE 10-3 SEC OF ARC LEVEL

被引:7
作者
BONSE, U
TEWORTE, R
机构
来源
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1982年 / 15卷 / 02期
关键词
D O I
10.1088/0022-3735/15/2/011
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页数:4
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