TARGET HEATING DURING ION-IMPLANTATION

被引：83

作者：

PARRY, PD ^{[1
]}

机构：

[1] WESTERN ELECT ENGN RES CTR,PRINCETON,NJ 08540

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569046

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：622 / 629

页数：8