TWO-DIMENSIONAL IMPURITY PROFILING NEAR THE MASK EDGE USING ANODIZATION

被引：7

作者：

KYUNG, CM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19850414

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：587 / 588

页数：2

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共 3 条

[1]

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