X-RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY OF HAFNIUM NITRIDE

被引:22
作者
BRUNINX, E
VANEENBERGEN, AFPM
VANDERWERF, P
HAISMA, J
机构
关键词
D O I
10.1007/BF01145521
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:541 / 546
页数:6
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