WATER-RELATED DEGRADATION OF CONTACTS IN THE MULTILEVEL MOS IC WITH SPIN-ON GLASSES AS INTERLEVEL DIELECTRICS

被引：10

作者：

LIFSHITZ, N

LAI, WYC

SMOLINSKY, G

机构：

来源：

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS | 1989年 / 10卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1109/55.43140

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页码：562 / 564

页数：3

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共 2 条

[1] DETECTION OF WATER-RELATED CHARGE IN ELECTRONIC DIELECTRICS [J].

LIFSHITZ, N ;

SMOLINSKY, G .

APPLIED PHYSICS LETTERS, 1989, 55 (04) :408-410

[2]

SMOLINSKY G, 1989, MATER RES SOC P, V131, P563