SURFACE ORIENTATION EFFECT ON PHOTOELECTROCHEMICAL ETCHING IN N-TYPE INP

被引：4

作者：

MOUTONNET, D

机构：

[1] CNET, Lannion, Fr, CNET, Lannion, Fr

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0167-577X(88)90046-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：433 / 435

页数：3

共 7 条

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