DEPOSITION OF SEMICONDUCTOR-FILMS WITH HIGH SOLAR ABSORPTIVITY

被引:34
作者
MATTOX, DM [1 ]
KOMINIAK, GJ [1 ]
机构
[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568750
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:182 / 185
页数:4
相关论文
共 22 条