ELECTRON MICROSCOPE METHOD FOR MEASURING DIFFRACTION GRATING GROOVE GEOMETRY

被引：15

作者：

ANDERSON, WA

GRIFFIN, GL

MOONEY, CF

WILEY, RS

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1965年 / 4卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.4.000999

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：999 / &

共 5 条

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