INFLUENCE OF DIFFERENT RESIDUAL GASES DURING DEPOSITION ON PERPENDICULAR ANISOTROPY IN 76 NI-FE FILMS

被引:1
作者
GOTO, M
ISHIZAKI, M
TATSUMOTO, E
KAMIYA, M
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.5.976
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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