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MINIATURE ELECTROSTATIC LENS FOR FORMING MEV MILLIBEAMS
被引:42
作者
:
AUGUSTYNIAK, WM
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AUGUSTYNIAK, WM
BETTERIDGE, D
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BETTERIDGE, D
BROWN, WL
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BROWN, WL
机构
:
来源
:
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS
|
1978年
/ 149卷
/ 1-3期
关键词
:
D O I
:
10.1016/0029-554X(78)90949-7
中图分类号
:
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
:
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要
:
引用
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[1]
USE OF FOCUSED ION-BEAMS FOR ANALYSIS
COOKSON, JA
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ATOM ENERGY RES ESTAB,NUCL PHYS DIV,HARWELL,DIDCOT,BERKSHIRE,ENGLAND
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COOKSON, JA
PILLING, FD
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ATOM ENERGY RES ESTAB,NUCL PHYS DIV,HARWELL,DIDCOT,BERKSHIRE,ENGLAND
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PILLING, FD
[J].
THIN SOLID FILMS,
1973,
19
(02)
: 381
-
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[2]
GRODZINS L, 1975, SCIENCE, V189, P325
[3]
COLLIMATION OF ION-BEAMS TO MICROMETER DIMENSIONS
NOBILING, R
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CIVELEKOGLU, Y
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[J].
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS,
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USE OF FOCUSED ION-BEAMS FOR ANALYSIS
COOKSON, JA
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ATOM ENERGY RES ESTAB,NUCL PHYS DIV,HARWELL,DIDCOT,BERKSHIRE,ENGLAND
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COOKSON, JA
PILLING, FD
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THIN SOLID FILMS,
1973,
19
(02)
: 381
-
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GRODZINS L, 1975, SCIENCE, V189, P325
[3]
COLLIMATION OF ION-BEAMS TO MICROMETER DIMENSIONS
NOBILING, R
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TRAXEL, K
[J].
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS,
1975,
130
(02):
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