ALUMINUM-ALLOY ULTRAHIGH-VACUUM CHAMBER FOR MOLECULAR-BEAM EPITAXY

被引:28
作者
SUEMITSU, M
KANEKO, T
MIYAMOTO, N
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.574134
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:37 / 43
页数:7
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共 5 条
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