AN OPTICALLY-ADDRESSED SILICON STRAIN SENSOR

被引：1

作者：

NADEN, JM

JONES, RE

机构：

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 16卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)80012-5

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：135 / 140

页数：6

共 6 条

[1] OPTICAL FIBER SENSOR TECHNOLOGY [J].

GIALLORENZI, TG ;

BUCARO, JA ;

DANDRIDGE, A ;

SIGEL, GH ;

COLE, JH ;

RASHLEIGH, SC ;

PRIEST, RG .

[2] ETCHED SILICON VIBRATING SENSOR [J].

GREENWOOD, JC .

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1984, 17 (08) :650-652

[3] SILICON AS A MECHANICAL MATERIAL [J].

PETERSEN, KE .

[4]

PIPPARD AB, 1978, PHYSICS VIBRATION, V1, P252

[5]

Pitt G. D., 1985, IEE Proceedings J (Optoelectronics), V132, P214, DOI 10.1049/ip-j.1985.0047

[6]

ROARK RJ, 1976, FORMULAS STTRESS STR, P316