COMPARISON OF ELECTRON SOURCES FOR HIGH-RESOLUTION AUGER-SPECTROSCOPY IN AN SEM

被引:14
作者
CHRISTOU, A [1 ]
机构
[1] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20375
关键词
D O I
10.1063/1.322579
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:5464 / 5466
页数:3
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