TEMPERATURE AND OXYGEN PRESSURE DEPENDENCE OF SILICON CARBIDE OXIDATION

被引：28

作者：

PULTZ, WW

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1021/j100872a067

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：4556 / &

共 6 条

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