CONTROL OF CARBON IN CZOCHRALSKI SILICON-CRYSTALS

被引：15

作者：

SERIES, RW

BARRACLOUGH, KG

机构：

来源：

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH | 1983年 / 63卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(83)90453-0

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

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页码：219 / 221

页数：3

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共 2 条

[1] CARBON CONTAMINATION DURING GROWTH OF CZOCHRALSKI SILICON [J].

SERIES, RW ;

BARRACLOUGH, KG .

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 1982, 60 (02) :212-218

[2]

1978, ANN BOOK ASTM STANDA