HEATING AND TEMPERATURE-INDUCED DISTORTIONS OF SILICON X-RAY MASKS

被引：21

作者：

HEINRICH, K

BETZ, H

HEUBERGER, A

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1983年 / 1卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.582724

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1352 / 1357

页数：6

共 8 条

[1]

CARLAW HS, 1959, CONDUCTION HEAT SOLI

[2]

DENHARTOG JP, 1952, ADV STRENGTH MATERIA

[3]

GROBMAN WD, HDB SYNCHROTRON RAD, V1

[4]

HELL F, 1973, GRUNDLAGEN WARMEUBER

[5]

HEUBERGER A, 1982, 1982 ESSDERC MUN

HYMAN, HA ;

BALLANTYNE, A ;

FRIEDMAN, HW ;

REILLY, DA ;

SOUTHWORTH, RC ;

DYM, CL .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1982, 21 (04) :1012-1016

[7]

MATTHEWS SM, 1981, P SPIE, V275

[8] Z-PINCH OF A GAS-JET [J].

SHILOH, J ;

FISHER, A ;

ROSTOKER, N .