MACHINING OF PZT, PT AND (MN,ZN) FE-2O-4 CERAMICS BY LASER-INDUCED CHEMICAL ETCHING

被引：4

作者：

SHIOSAKI, T

MASUDA, H

ADACHI, M

KAWABATA, A

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1987年 / 26卷

关键词：

D O I：

10.7567/JJAPS.26S2.159

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：159 / 161

页数：3