REACTION-KINETICS OF EXCIMER LASERS USING NF3

被引：10

作者：

CHOW, W ^{[1
]}

STUKE, M ^{[1
]}

SCHAFER, FP ^{[1
]}

机构：

[1] MAX PLANCK INST BIOPHYS CHEM,LASERPHYS ABT,D-3400 GOTTINGEN,FED REP GER

来源：

APPLIED PHYSICS | 1977年 / 13卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00890711

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页数：3

共 7 条

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