THE HOMOGENEOUS DISTRIBUTION OF NON-METALLIC BONDS IN AS-DEPOSITED NICR-O RESISTIVE FILMS

被引：11

作者：

DINTNER, H

THRUM, F

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1989年 / 111卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2211110220

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：551 / 557

页数：7

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共 42 条

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VOJTA G, 1982, 23 BER ZENTR I FESTK, P83

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