EVALUATION OF PASSIVATED INTEGRATED CIRCUITS USING THE SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

被引:76
作者
EVERHART, TE
WELLS, OC
MATTA, RK
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2426295
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:929 / 936
页数:8
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共 22 条
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