IMPROVED METHOD FOR AZIMUTHAL ALIGNMENT IN ELLIPSOMETRY

被引：2

作者：

CASTELIJNS, JHP ^{[1
]}

机构：

[1] CATHOLIC UNIV NIJMEGEN,FYS LAB,NIJMEGEN,NETHERLANDS

来源：

APPLIED OPTICS | 1975年 / 14卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.14.000806

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

收藏

页码：806 / 807

页数：2

相关论文

共 2 条

[1] AZIMUTHAL MISALIGNMENT AND SURFACE ANISOTROPY AS SOURCES OF ERROR IN ELLIPSOMETRY [J].

DIGNAM, MJ ;

MOSKOVIT.M .

APPLIED OPTICS, 1970, 9 (08) :1868-&

[2] METHOD FOR AZIMUTHAL ALIGNMENT IN ELLIPSOMETRY [J].

STEEL, MR .

APPLIED OPTICS, 1971, 10 (10) :2370-&