ION-IMPLANTATION

被引：32

作者：

DEARNALEY, G ^{[1
]}

机构：

[1] ATOM ENERGY RES ESTAB,HARWELL OX11 0RA,OXFORDSHIRE,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1038/256701a0

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

引用

页码：701 / 705

页数：5

共 11 条

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