MORPHOLOGICAL AND ELECTRICAL ANALYSIS OF MICRON SCALE SI-LINES PRODUCED BY LASER-INDUCED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：2

作者：

BINNIE, TD ^{[1
]}

WILSON, JIB ^{[1
]}

COLLES, MJ ^{[1
]}

WEST, JL ^{[1
]}

机构：

[1] HERIOT WATT UNIV,DEPT PHYS,EDINBURGH EH1 1HX,MIDLOTHIAN,SCOTLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.336275

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：4446 / 4448

页数：3

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