A NOVEL TECHNIQUE FOR THE DEPOSITION OF SILICA FILMS

被引：12

作者：

CHU, TL

GAVALER, JR

GRUBER, GA

KAO, YC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2426023

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1433 / 1434

页数：2

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共 4 条

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