MINIATURE SILICON RESONANT PRESSURE SENSOR

被引：33

作者：

GREENWOOD, JC

SATCHELL, DW

机构：

[1] STC Technology Ltd, United Kingdom

来源：

IEE PROCEEDINGS-D CONTROL THEORY AND APPLICATIONS | 1988年 / 135卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1049/ip-d.1988.0056

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：369 / 372

页数：4

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共 4 条

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