HIGH-RESOLUTION ELECTRON-MICROSCOPY BY AN INCOHERENT ILLUMINATION METHOD

被引：11

作者：

NAGATA, F ^{[1
]}

MATSUDA, T ^{[1
]}

KOMODA, T ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,KOKUBUNJI,TOKYO,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.14.1815

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1815 / 1816

页数：2

共 5 条

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