AN ANALYTICAL MODEL OF STOCHASTIC INTERACTION EFFECTS IN PROJECTION SYSTEMS USING A NEAREST-NEIGHBOR APPROACH

被引：24

作者：

MKRTCHYAN, MM

LIDDLE, JA

BERGER, SD

HARRIOTT, LR

SCHWARTZ, AM

GIBSON, JM

机构：

[1] UNIV ILLINOIS,DEPT PHYS,URBANA,IL 61801

[2] UNIV ILLINOIS,MAT RES LAB,URBANA,IL 61801

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1994年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.587460

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：3508 / 3512

页数：5

共 6 条

BERGER, SD ;

EAGLESHAM, DJ ;

FARROW, RC ;

FREEMAN, RR ;

KRAUS, JS ;

LIDDLE, JA .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1993, 11 (06) :2294-2298

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