FORMATION OF PLATINUM SILICIDE ON HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON

被引：3

作者：

BEYER, W ^{[1
]}

GATTS, CE ^{[1
]}

HERION, J ^{[1
]}

LOSCH, W ^{[1
]}

WAGNER, H ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV FED RIO DE JANEIRO, COPPE, RIO DE JANEIRO, RJ, BRAZIL

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(87)90229-8

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：951 / 954

页数：4